激光干涉儀是利用激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn),對(duì)數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標(biāo)測(cè)量機(jī)等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進(jìn)行精密測(cè)量的精密測(cè)量?jī)x器。
LASER是Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation的縮寫,意為通過受激發(fā)射線的放射達(dá)到光的放大,即激光。
大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖 (He-Ne) 激光管,這些激光管具有633納米 (nm) 的波長(zhǎng)輸出。